手机版
关于我们
加入收藏
安徽助研仪器有限公司
2 年
高级会员
高级会员
已认证
400-810-0069转1958
获取底价
提交后，商家将派代表为您专人服务
安徽助研仪器有限公司
高级会员已认证
点击留言，第一时间获取专属报价
助研仪器半导体行业专用仪器
助研仪器等离子化学气相沉积系统-PECVD
国产半导体行业专用仪器
等离子化学气相沉积系统-PECVD
ZYE-1200-PE
为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）。它是由500W射频电源、1200℃单温区管式炉、三通道质量流量混气系统和真空系统组成。此款PECVD系统用于生长纳米线、石墨烯或SiC薄膜等
| 型号 | ZYE-1200-PE |
| 工作温度 | **温度：1200℃（使用是必须通入惰性气体以防炉管发生形变）工作温度：1100℃推荐升温速率：≤10℃/min |
| 控温精度 | ±1℃ |
| 配置炉管尺寸 | Φ50（外）×1200mm（其他可定制） |
| 炉膛尺寸 | |
| 加热区 | 加热长度：220mm 恒温区长度：60-80mm（±3℃） |
| 控制方式 | PID控制和自整定调节功能，智能化30段可编程控制，具有超温及段偶功能K型热电偶，可安装PC控制软件对数据进行实时采集（需另购） |
| 密封系统 | 不锈钢密封法兰（包括316L针阀、真空机械压力表、软管接头） |
| 加热元件 | 北京首钢HRE |
| **功率 | 3kW |
| 供气系统 | 三路高精度MFC 量程0-500sccm（按客户需求定） |
| 射频电源 | 射频功率：5-500W 射频频率：13.56MHz 匹配方式：自动匹配 |
| 真空系统 | 双级旋片真空泵（可定制扩散泵 分子泵等） |
| 额定电压 | 单相AC220V 50/60Hz |
| 外形尺寸 | 1600*600*1200mm（长*宽*高） |
等离子化学气相沉积系统-PECVD的工作原理介绍？等离子化学气相沉积系统-PECVD的使用方法？等离子化学气相沉积系统-PECVD多少钱一台？等离子化学气相沉积系统-PECVD的说明书有吗？等离子化学气相沉积系统-PECVD的报价含票含运费吗？等离子化学气相沉积系统-PECVD有现货吗？等离子化学气相沉积系统-PECVD是国产还是进口的？有等离子化学气相沉积系统-PECVD的详细技术参数吗？等离子化学气相沉积系统-PECVD可以应用在哪些领域？0有办事机构吗？0销售电话是多少？相关产品
更多
企业名称
安徽助研仪器有限公司企业类型
信用代码
91340100MA8QGEQ06U法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围
400-810-0069转1958
等离子化学气相沉积系统-PECVD由安徽助研仪器有限公司提供，产地为安徽，属于国产半导体行业专用仪器，符合多项国家和国际标准，广泛应用于石油/化工、矿业/冶金、综合其他等领域，等离子化学气相沉积系统-PECVD凭借其创新性与实用性，在半导体行业专用仪器用户中获得广泛关注。
据中国粉体网显示：该产品已通过粉体网认证，在产品性能、服务能力等维度表现优异，用户平均评分达9.5（满分 10 分），入选半导体行业专用仪器近30天热度榜。
根据助研仪器官方产品资料显示：等离子化学气相沉积系统-PECVD的品牌为助研仪器。
请拨打厂商400电话进行咨询
使用微信扫码拨号
